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目前，激光器配件大腔體加工中使用的工業激光器主要有兩種：固態激光器和氣體激光器。其中，固態激光器以Nd:YAG激光器為代表；氣體激光器以CO2激光器為代表。隨著激光技術的發展，人們開始在一些加工應用中使用高功率光纖激光器和高功率半導體激光器。

國內外用于激光加工的大功率CO2激光器主要有橫流式和軸向流激光器式

激光器配件大腔體加工橫向流激光器：橫向流激光器的光束質量不是很好，是多模輸出，主要用于熱處理和焊接。目前，我國已經能夠生產各種系列的大功率橫流CO2激光器，能夠滿足國內激光熱處理和焊接的需要。

激光器配件大腔體加工流激光器：軸流激光器軸光束質量好，為基模或準基模輸出，主要用于激光切割和焊接。中國的激光切割設備市場主要被國外的安訊士流激光器占據，雖然國內的激光廠商在國外的流激光器做了大量的工作，但由于主要配件仍需進口，產品價格難以大幅下降，普及率較低。